PG电子【NAURA EPI GO】北方华创实现外延工艺设备全覆盖

　　PG电子【NAURA EPI GO】北方华创实现外延工艺设备全覆盖制造先进芯片需要近乎完美的晶体材料，外延设备是生长晶体材料的关键设备，广泛应用于集成电路、功率器件、硅材料、第三代半导体等领域。

　　作为中国外延工艺装备技术的开拓者，北方华创002371）早在2010年就启动外延装备的研发工作，经过十余年的技术沉淀与创新突破，已发布20余款量产型外延设备，累计出货近1000腔。

　　从2012年首台硅外延设备成功进入客户端至今，北方华创已然形成具有核心技术优势的品类齐全、应用广泛的外延设备系列化产品。

　　具备多种材料外延生长技术能力：包括单晶硅、多晶硅、碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、磷化铟（InP）等，覆盖集成电路、功率器件、射频、半导体照明等领域应用需求。

　　实现4英寸到12英寸全覆盖：包括8英寸及以下的单片及多片大产能硅外延设备、12英寸硅外延设备、4/6/8英寸碳化硅外延设备、8英寸及以下单片及多片大产能硅基氮化镓外延设备。

　　励精图治，经过十余年在技术和市场方面的积累PG电子游戏，北方华创的外延产品业绩斐然，不断赢得客户和产业界的好评。

　　公司在外延领域最早问世的8英寸硅外延设备，打破了行业的竞争格局，成为了行业内主流Baseline（基准）产品，将产业发展推向全新高度，问世至今几乎斩获国内市场全部订单PG电子游戏。

　　12英寸常压硅外延设备突破了一系列关键技术，获得了市场的广泛认可：在功率器件领域，截至当前已在客户端连续量产超过20万片；在硅材料领域，已在多家客户端实现稳定量产，各项关键指标达到国际主流水平。此外PG电子游戏，凭借优异的工艺性能和市场化业绩，产品于2022年荣获中国集成电路创新联盟第五届“IC创新奖”。

　　面向投资火爆的碳化硅领域，北方华创凭借深厚的技术积累，快速开发了碳化硅外延产品，目前产品已实现近200台的销售，占据市场半壁江山。面向8英寸碳化硅市场，北方华创前瞻性开发的6/8英寸兼容多片碳化硅外延设备也即将投入市场，将大幅降低客户运营成本，引爆新一轮市场热潮。

　　自2010年以来，北方华创对标行业前沿科技，精研市场及客户需求，通过持续创新，突破并优化了气流场、加热场、气路系统、温度控制、压力控制、运动系统等一系列关键技术，并可针对客户需求进行定制化研发。

　　多区水平气流场设计，实现单向层流，无反流湍流，可拓宽外延工艺窗口，提高外延界面质量，实现外延膜层的可控和器件的高性能。

　　常压与减压下的加热场与气流场的仿真技术，提升了工艺腔室的设计效率，为解决具体问题提供了理论支持。

　　北方华创将始终坚持对行业前沿科技的探索与研究，致力于打造具有前瞻性的专业技术与解决方案，以精良的外延设备与创新的专业服务为客户创造价值，推动产业进步，创造无限可能！